ลำดับขั้นของสมาธิ

๑. อาตาปี มีความเพียรจริง
๒. สัมปชาโน มีสัมปชัญญะรู้ตัวตลอดเวลาว่าตนทำอะไร คิดอะไร รู้สึกอย่างไร
๓. สติมา มีสติไม่เผลอ ไม่หลับ ไม่ง่วง พยายามคุมสติไว้กับอารมณ์ของกัมมัฏฐาน จิตใจจะเป็นสมาธิตามลำดับขั้นดังนี้

๑. ขณิกสมาธิ จิตใจจะสงบนิ่งชั่วขณะหนึ่งประมาณ ๑ นาที แล้วก็เริ่มล่องลอยไปตามปกติของมัน ต่อเมื่อได้สติ ต้องรีบดึงกลับคืนมาอยู่กับอารมณ์ต่อไป ถ้าพยายามอยู่อย่างนี้ จิตสมาธิก็จะขึ้นสู่ขั้นต่อไป
๒. อุปจารสมาธิ จิตสงบนิ่งได้นานกว่าขณิกสมาธิ อาจนาน ๕ นาที หรือ ๑๐ นาที หรือนานกว่า แต่ไม่ถึงฌาน
๓. อัปปนาสมาธิ จิตสงบนิ่งได้ตามต้องการ